电子器件的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:21369197

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本发明涉及电子器件的制造方法,更详细地说,涉及具备对于有机电致发光元件等电子器件作为水分透过的密封膜而发挥功能的有机薄膜的电子器件的制造方法。背景技术在产业界,以晶体管、二极管为首的为数众多的电子构件因水、氧而发生劣化,因此实施称为密封(钝化)的加工。特别是使有机化合物担负电子传导的、有机薄膜晶体管、有机薄膜太阳能电池、有机电致发光元件(以下称为有机el元件。)等尤其对水分子敏感,认为需要极高度的密封。其中,有机el元件在发光中,作为有机物,成为反应性最高的激发状态,因此与提及水分浓度相比,必须...
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