技术编号：21393088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于无机非金属材料制备装备领域，具体涉及到一种化学气相具有气流导向功能的沉积炉。背景技术石墨由于其良好的导热性，易加工性以及耐高温性能，广泛应用于光伏及其它相关领域。在石墨件表面沉积碳化硅，发生化学气相沉积反应后得到碳化硅涂层，可进一步增强石墨表面硬度。同时，在某些特定的应用中，由于碳化硅涂层结合致密，可以阻止石墨件的部分杂质进入反应系统。例如，半导体级光伏单晶设备中所用的石墨内衬，通常要求表面涂覆碳化硅涂层。沉积炉的进料喷嘴设置在炉体下部，按照圆周均匀分布，中心有一个喷嘴，如图1所示...
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