技术编号：21405642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体设备制造领域，涉及一种光刻机框架及光刻机。背景技术当今世界是一个信息化、智能化的世界，科学技术的日新月异使得各类新型智能化产品层出不穷，使得人们的生活更加便捷。与此同时，人们对显示器的各项性能要求也越来越高，显示屏技术向着超薄、低功耗等方向飞速发展。而性能更佳的显示屏的生产制造离不开先进的光刻工艺，稳定、高精确度的曝光成像系统就显得尤为重要。随着光刻机设备的不断发展，生产效率的不断提高，使得光刻机玻璃基板的尺寸不断增大，运动台质量不断增大，当大质量的运动台快速移动时，会产生惯性力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。