技术编号:21408500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及蒸镀掩模。背景技术近年,对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置来说,要求是高精细的显示装置。在显示装置中,由于响应性良好、能耗低且对比度高,有机el显示装置正在受到关注。作为形成有机el显示装置的像素的方法,已知这样的方法:使用包含有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模,以所希望的图案形成像素。具体来说,首先,将被蒸镀基板(有机el显示装置用的基板)放入蒸镀装置中,接下来,在蒸镀装置内使蒸镀掩模与被蒸镀基板紧密贴合,执行使有机材料蒸镀于被蒸镀基板上的蒸镀工序。作为这样的蒸...
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