技术编号：2146598
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及门的安全开关，尤其涉及一种门的安全开关装置。 背景技术在半导体工艺设备进行半导体加工的过程中，对生产所处的微环境有特殊的要求，例如需要微环境具有较高的洁净度和较低的含氧量等，以保证生产出的硅晶片质量以及人身安全。因此对位于半导体工艺设备上、用于隔绝微环境与外界环境之间的门的打开与关闭进行控制是非常有必要的。在本领域中，传统微环境门的打开与关闭控制应用最多的是只安装门锁，并且该门锁在门的外侧手动可打开。采用这样的方法，不能保证门的开关绝对安全，例如...
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