技术编号:21474523
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气体检测技术领域,具体涉及一种用于气体检测的质量流量控制装置。背景技术气体是四种基本物质状态之一,气体可以由单个原子、一种元素组成的单质分子、多种元素组成化合物分子等组成,气体混合物可以包括多种气体物质,比如空气。气体与液体和固体的显著区别就是气体粒子之间间隔很大,气体的特性介于液体和等离子体之间,气体的温度不会超过等离子体,气体的温度下限为简并态夸克气体,现在也越来越受到重视,高密度的原子气体冷却到非常低的低温,可以依其统计特性分为玻色气体和费米气体,气体在检测时需要使用流量控制...
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