技术编号：21582303
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种三自由度微纳定位平台。背景技术目前，在精密制造、超精测量和微操纵等诸多高新科技和现代工业领域中，微纳定位技术作为一项关键技术，有着广泛的应用。精密微纳定位平台是微纳定位技术的关键部分，在光学工程、微电子制造、航空航天技术、微机械零件的装配、生物工程、扫描探针显微镜、精密光学检测等领域有着广阔的应用前景和重要的研究价值。目前大部分精密微纳运动定位平台为压电陶瓷驱动的柔性运动机构，许多运动平台采用压电陶瓷直接驱动，但受压电执行器的行程范围限制，平台的输出位移不能达到足够的工作空间要...
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