技术编号:21606003
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及电子部件,尤其涉及具备压电膜以及idt电极的电子部件。背景技术以往,已知具备压电膜以及idt电极的弹性波装置(弹性波元件)(例如参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置中,在由硅构成的高声速支承基板上依次层叠有低声速膜、压电膜以及idt电极。在高声速支承基板传播的弹性波的声速与在压电膜传播的弹性波的声速相比为高速。在低声速膜传播的弹性波的声速与在压电膜传播的弹性波的声速相比为低速。在先技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2017/043427号发明内容发明要解决的课题可是,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。