技术编号：21625494
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于原子及近原子尺度制造领域，涉及极紫外光超短脉冲技术，尤其是一种基于极紫外光超短脉冲的原子级材料可控去除方法。背景技术量子芯片、光子芯片等信息领域下一代核心器件是各国未来科技竞争的焦点。由于此类下一代核心器件的表面及特征结构已达到原子量级，对能量场的尺寸变化非常敏感。原子级表面是未来核心器件的基本要素，它一方面具有原子及近原子级的粗糙度、形状误差等几何精度，同时要求材料晶格也处于低损伤甚至无损伤状态。这种逼近材料极限的表面质量已经是包括能源、新型材料、信息、及环境等各领域的迫切需求，成为...
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