技术编号:21651545
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有色金属功能材料及粉末冶金加工新技术领域,特别涉及一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法。背景技术金属和合金靶材可以通过磁控溅射、等离子溅射等物理气相沉积或化学气相沉积技术,在其他金属、陶瓷或高分子材料表面,形成纳米厚度的薄膜,实现对其他材料的硬度、腐蚀、导电等物理和化学特性的改善,达到对其他材料进行表面改性的目的。而且,在真空或者气体保护情况下进行的溅射技术,不会造成环境污染,和传统电镀方式相比,是一种环境友好的绿色环保表面处理技术。采用真空溅射技术进行表面改性,需要用到最重要的耗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。