硅基液晶空间光调制器与波长选择开关的制作方法技术资料下载

技术编号:21651762

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本发明涉及光电技术领域,尤其涉及一种硅基液晶空间光调制器与波长选择开关。背景技术硅基液晶(liquidcrystalonsilicon,lcos)技术已经开发了很多年,主要用于信息显示领域,由于其在空间上调制光束波长的独特能力,lcos技术在超高清投影仪、增强现实及虚拟现实领域得到了广泛应用,与此同时,在近些年,lcos器件还作为波长选择开关的调制芯片在电信网络领域得到了应用。现有的lcos器件一般包括基于互补型金属氧化物半导体(cmos)技术的硅基板、与硅基板相对的玻璃基板及夹在硅基板和玻璃基...
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