技术编号：21690147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密测量技术领域，涉及精密测量系统中的检测装置，特别涉及一种大量程高频响双物镜光学独立共焦式测头。背景技术光学共焦式测头是一种基于光学共焦成像原理来获得被测表面高度信息的测量装置。它具有较高的纵向和横向分辨率，分别可以达到纳米级和亚微米级，可同精密定位平台相结合，实现微结构表面形貌的精密测量。相对于机械触针式测头，它不会因接触而产生磨损，也不会划伤被测表面；相对于光学干涉式测头，其横向分辨率高，纵向测量范围大；相对于结构光式测头，其纵向和横向分辨率以及测量精度高；相对于扫描探针显微镜，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。