技术编号:21697281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造石英玻璃坩埚的铸模(mold),及使用了该铸模的石英玻璃坩埚的制造方法。背景技术作为用于单晶硅提拉的石英玻璃坩埚的制造方法,已知有旋转模塑法。该方法为使沿着旋转的铸模的内表面而沉积的石英粉加热熔融,将其玻璃化并成型为坩埚的形状的方法(例如,专利文献1)。旋转模塑法中,在将石英玻璃坩埚熔融之前,将石英粉成型为规定的形状,成型操作通过将石英粉喷在高速旋转的铸模直体部内表面并利用离心力使石英粉沉积在直体部而进行。在石英粉成型体的成型初始阶段中,喷涂的石英粉在铸模内表面滑动,下落并...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。