技术编号:21698481
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制造湿度传感器的方法以及湿度传感器。背景技术这样的相对湿度传感器在本领域中是已知的。us4,651,121公开了一种湿度传感器,其包括基板、在基板上方的底部电极以及夹在底部电极和上部电极之间的有机湿敏膜。当水蒸气进入湿敏膜时,传感器的电容发生变化。通过检测电容的相应变化,此作用可用于确定大气中水蒸气含量的变化。基于有机材料的相对湿度传感器由于材料的化学老化而固有地经历退化,并且是热敏感的,尤其由于低的玻璃温度转变。us8,783,101b2公开了另一种基于纳米结构的氧化铝膜的相对湿...
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