用于MEMS传感器和其它设备的耐输入电流的放大器输入级的制作方法技术资料下载

技术编号:21699368

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本公开涉及用于微机电系统(mems)传感器和其它设备的耐输入电流的放大器输入级。背景技术mems传感器可作为集成电路芯片被提供,该集成电路芯片包括将声压波转换成电信号的mems换能器,以及包括mems接口电路。在一些情况下,mems换能器被绑定到集成电路。由电压偏置的mems换能器可以被配置为例如具有可变电容器的mems麦克风,该可变电容器基于冲击在mems换能器的膜上的声压来改变其电容。mems接口电路包括放大器,该放大器用以放大由mems换能器提供的输入信号并且以生成放大的输出信号。为了实现...
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