技术编号：21710074
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体老化测试技术领域，具体涉及一种半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置。背景技术半导体存储器有一定的失效概率，其失效概率与使用次数之间的关系符合浴缸曲线的特性。因此，为了避免半导体存储器开始使用时失效概率高的问题，一般半导体存储器制造商会通过老化测试来加速半导体存储器失效概率的出现，直接让产品进入稳定期，筛选出良品。随着半导体制造技术的飞速发展，高速、高容量的半导体存储器也层出不穷，对半导体存储器老化测试设备的需求也日益增加。半导体存储器老化测试设备中，bib(burn...
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