技术编号：21713273
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域，特别涉及了一种mems单芯片集成流量温度湿度化学传感器及工艺。背景技术目前，现有mems单芯片无法集成多种传感器，导致体积较大，给使用造成麻烦，同时，复合传感器的性能上也无法做到精度较高的程度。发明内容本发明的目的是为了克服上述问题，特提供了一种mems单芯片集成流量温度湿度化学传感器及工艺。本发明提供了一种mems单芯片集成流量温度湿度化学多种传感器，其特征在于：所述的mems单芯片集成流量温度湿度化学多种传感器，包括硅晶圆1，绝缘层2，金属薄膜3，敏感材料层4，钝化层5...
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