技术编号:21739690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及籽晶托盘技术领域,尤其涉及一种金刚石单晶生产用籽晶托盘。背景技术微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石单晶时,籽晶放置在籽晶托盘的凹坑内,目前所用的籽晶托盘是一种带有阶梯状凹坑的圆柱状籽晶托盘。公开号为cn204281889u公开了一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘,用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内,置于谐振腔腔体内的基台上,托盘的中心端面开设有凹坑,所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接,所述凹坑大于等于1个,本实用新型是将托盘中心设计成一种凹坑,在金刚...
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