技术编号：21743722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光学元件检测辅助装置技术领域，更具体的说是涉及一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置。背景技术光学干涉仪是基于光的干涉原理测量光学元件面形误差的精密测量仪器。光学干涉仪中，激光器发出的单色光在光路中通过准直物镜后成为平行光，然后分束投射到参考反射镜和被测光学元件，根据参考光束和测试光束的干涉条纹求解得到光学元件的面形误差。而采用光学干涉仪检测高精度光学元件的面形误差时，光学元件由检测夹具进行装夹和把持，检测夹具放在调节平台上，通过调节平台调整检测夹具和光学元件的位姿，以使光学元件的...
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