技术编号:21765858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜领域,具体为一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置。背景技术对于较大的、形状复杂的、非平面的工件表面镀膜,工件移动、翻转不容易实现,需要较大的回转空间,而且回转力矩较大。由于是曲面形状,采用传统的固定式阴极镀膜设备无法满足此类工件的镀膜厚度均匀性的要求,必须采取一种新的阴极布置方式,即工件固定不动,阴极沿工件表面法向、等距、反复移动扫描来完成工件表面镀膜工作。而移动阴极在较大的真空镀膜室内沿工件表面做移动镀膜时,阴极自身的布气装置提供的工艺气体分布会随着阴极和工件相对移动位...
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