技术编号:21771538
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请为中国发明专利申请2016800120477的分案申请。本发明涉及一种使用磁控管溅射装置的旋转式阴极单元。背景技术这种旋转式阴极单元例如由专利文献1已知。该以往例的装置具有在真空室内与基板相对配置的圆筒状的靶、配置在靶的内部空间的磁铁单元、使冷媒在靶的内部空间循环的冷媒循环装置,以及旋转驱动靶的驱动装置。作为磁铁单元,使用的是设置有沿靶的母线延长配置在磁性材料制成的与靶的母线长度具有相同长度的轭的一面上的中央磁铁、沿该中央磁铁延长配置在中央磁铁两侧的周边磁铁,以及分别包住在中央磁铁两端并架...
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