一种以流延氧化铝包裹加热线路的氧传感器芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:21808654

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本发明涉及氧传感器制作领域,特别是一种以流延氧化铝包裹加热线路的氧传感器芯片。背景技术为减少发动机废气排放污染,提高燃气的综合利用率,人们设计了氧传感器用于调定混合气的空燃比,而氧传感器由于其固有特性,氧传感器冷态下输出的是随机信号,该信号没有参考意义,只有在加入热控制以后,在室温条件下才能开始正常的气体检测。而本氧传感器芯片即为热控制芯片,芯片中最核心的部位是加热线路,传统加热线路绝缘是通过丝网印刷技术在印好加热线路的氧化锆基体上印刷绝缘层。而该印刷绝缘层,对印刷工艺有较高要求,若在印刷过程中...
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