技术编号：21940422
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种离子束电流测定装置、试样制成装置以及离子束电流计算方法。背景技术在试样制成装置中，具有用于制成截面试样的截面抛光装置(cp)、用于制成薄膜试样的离子切片装置(is)，并组装有被称为潘宁(penning)型的构造的离子源。在图2中示出安装了cp的离子源的离子光学系统1，在图3中示出安装了is的离子源的离子光学系统2。如图2和图3所示，离子源10都由筒状的阳极(anode)11(阳极)、相向的阴极(cathode)12(阴极)和环状的阴极13(对阴极)以及环状的引出电极14(接地电极)...
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