技术编号:21960394
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及光伏电池领域,具体涉及一种板式pecvd设备中单管镀膜效果的检测方法。背景技术目前,板式pecvd(plasmaenhancedchemicalvapordeposition,等离子体增强化学的气相沉积法)是太阳能电池制作过程中重要的一道工序,其目的是在硅片表面形成一层减反射膜。该反射膜对颜色、膜厚和折射率均有一定的要求。在链式pecvd设备镀膜过程中,由于石英单管之间反应气体氨气和硅烷流量的不同,加上温度、时间的区别,导致电池片镀膜的颜色、膜厚和折射率有差异,电池片的镀膜效果不一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。