技术编号:22007594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机械制造技术领域,尤其是涉及一种石英制品检测夹具。背景技术半导体芯片刻蚀工艺需要使用高纯石英制品,在刻蚀工艺过程中,石英制品表面的粗糙度会影响刻蚀制程,因此在刻蚀前需要检测石英制品表面的粗糙度是否达标。在对石英制品的表面进行检测前,需先将石英制品夹持固定,而市面上通用的夹具为平口钳,平口钳的使用方法为用扳手转动丝杠,通过丝杠螺母带动活动钳身移动,活动钳和固定钳配合形成对工件的夹紧与松开。但是石英制品属于易碎品,而平口钳通常由硬质金属材料制成,硬质金属材料的莫氏硬度与石英制品的莫氏硬...
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