技术编号:22022236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为一种感应耦合电浆洁净机的技术领域,尤其指一种利用感应耦合电浆进行轰击的洁净机。背景技术如图1所示,为目前使用的等离子清洁机(plasmacleaner)的立体图,等离子清洗机1是利用电浆来达到常规清洗方法无法达到的效果。电浆是利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,通过这些活性离子来处理产品表面,从而实现清洁的目的。如图2所示,为等离子清洁机的内部结构示意图。等离子清洗机1具有一腔体11,腔体11内有多层间隔载台12,两两面对面配置的的间隔载台12用以供8英寸(或12英寸)晶...
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