技术编号：22022442
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种避免晶圆前后偏移的导片夹持装置。背景技术在半导体工艺设备中，常需要透过导片夹持装置的配置以适应不同的工艺需求将晶圆在不同的晶圆托篮上进行转换，而常见的导片夹持装置的导片夹持器在执行导片动作时由于气缸供气不稳定会产生瞬间位移的冲击，导致导片夹持器的两根夹持臂在夹持过程中会发生位置偏移，进而使得相对的导片齿槽不对齐，从而在夹持晶圆片是产生扭曲应力导致破片发生。又由于导片齿槽的齿型为阶梯平面式，晶圆的接触面与两侧的各导片齿槽均是一个支点支撑，在移动时产...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。