微粒检测器的制作方法技术资料下载

技术编号:22186701

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本发明涉及微粒检测器。背景技术作为微粒检测器,已知有如下微粒检测器,该微粒检测器具备:陶瓷制的壳体,其具有气体流路;电荷产生部,其对导入至气体流路内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷,由此使该微粒形成为带电微粒;捕集部,该捕集部在气体流路内比电场产生部靠下游侧的位置对带电微粒进行捕集;以及个数测定部,该个数测定部基于所捕集到的带电微粒的电荷的量来测定微粒的个数(例如参见专利文献1)。捕集部具有:在气体流路内露出的捕集电极、以及隔着气体流路而与捕集电极对置的对置电极。通过向捕集电极与对置电极之...
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