技术编号：2222
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于敷在衬底表面的薄膜用的监测设备，特别是关于光学法测定敷在玻璃板表面上薄膜的特性用的设备。薄膜一般是敷在玻璃上来吸收或反射阳光的照射的。薄膜厚度测定仪在工业和研究部门具有多种用途。市面上出售有各种这类用途用的装置。例如，表面轮廓监测器用测头跟踪薄膜表面测定薄膜蚀刻到衬底处步长的大小。直接接触会使表面变形或损伤，因而在许多情况下都希望有一种非接触式的测定方法。根据薄膜表面反射光进行测定的方法即采用了这类非接触式探头。用光学测定薄膜厚度主要有两种不同的方法。第一种方法叫做椭圆对称法，这种方法测定和比较某给定波...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。