一种基于伯努利效应和超声近场悬浮的无接触抓取装置的制作方法技术资料下载

技术编号:22224419

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本实用新型涉及无接触抓取技术领域,具体是一种基于伯努利效应和超声近场悬浮的无接触抓取装置。背景技术光伏产业中的电池片、半导体产业中的晶圆、光学玻璃等在生产加工中对产品表面光洁度有特殊要求,要求在生产过程中尽可能的减少甚至杜绝表面的物理接触,以减少产品表面污染,其中电池片、晶圆等还具有薄、脆、易碎裂等特点。在现有生产工艺中,伯努利吸盘被广泛应用于抓取工位中,伯努利吸盘需要持续的往被抓取物表面吹出高速的稳定气流,才能在被抓取物表面形成稳定的伯努利效应,使被抓取物上表面的压力显著低于下表面的环境压力,...
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