技术编号:22228145
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。【技术领域】本发明是有关一种影像检测系统,特别是关于一种检测一待测物的表面影像的影像复合检测系统。【背景技术】光学影像在量测或检测的应用极为广泛,一般的光学影像可通过电荷耦合元件ccd来观看,但目前的ccd的影像解析度受到限制,进而也限制了ccd镜头下的视野范围。若要提高视野范围,则ccd的倍率要调整为较小,相对地,ccd的影像解析度则必须提高。然而,当量测或检测的解析度欲提高至纳米等级时,现有的光学ccd无法适用,必须改用解析度较高的电子显微镜。但,现有的电子显微镜的价格昂贵,且必须在真空环境...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。