技术编号:22257214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种碳电极,还涉及一种使用该碳电极制造石英玻璃坩埚的方法。背景技术以往,用作单晶半导体材料的基板的单晶硅能够通过在石英玻璃坩埚中熔融多晶硅,并使其在晶种上晶体生长而制造,即通过所谓的提拉法而制造。所述制造方法中使用的石英玻璃坩埚根据制造方法的不同而有几个种类,就实用性而言,使用半透明石英玻璃坩埚,该坩埚通过沿着可旋转的中空的模具的内周表面填充二氧化硅粉末(原料石英粉),一边使该模具旋转一边通过使用了碳电极的电弧放电而将二氧化硅粉末加热熔融的石英玻璃坩埚的制造方法得到。所述半透明石英玻璃...
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