技术编号:22282290
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蚀刻技术,尤其涉及一种密封式蚀刻装置。背景技术蚀刻是线路板生产过程中的一种重要工艺,按使用化学药剂的性质分为酸性蚀刻和碱性蚀刻。碱性蚀刻过程中,包括以下反应:(1)在氯化铜溶液中加入氨水,发生络合反应:cucl2+4nh3→cu(nh3)4cl2,(2)在蚀刻过程中,基板上面的铜被〔cu(nh3)4〕2+络离子氧化,其蚀刻反应:cu(nh3)4cl2+cu→2cu(nh3)2cl,(3)蚀刻中所生成的〔cu(nh3)2〕1+不具有蚀刻能力,在过量的氨水和氯离子存在的情况下,能很快地...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。