技术编号:22292116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及清洗喷淋技术领域,具体地涉及一种铬板清洗装置。背景技术tft—lcd是采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术,是液晶、无机和有机薄膜电致发光平板显示器的基础。tft是在玻璃或塑料基板等非单晶片上(当然也可以在晶片上)通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜,通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路。铬板使用时如果清洗不干净会造成产品短路不良,处理时消耗大量时间和精力,对生产效率造成很大影响。目前的铬板清洁处理是将铬板置于洁净平整的工作台,无尘布蘸ipa或者丙酮沿一个...
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