分段垂直腔面发射激光器的制作方法技术资料下载

技术编号:22323548

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本发明涉及一种分段垂直腔面发射激光器(vcsel:verticalcavitysurfaceemittinglaser)装置,其包括被布置为能够提供分离的光学模式的引导结构。本发明还涉及一种包括这样的vcsel装置的光学传感器以及一种包括这样的光学传感器的移动通信装置。本发明还涉及一种制造这样的vcsel装置的相应方法。背景技术在用于深度成像以及用于印刷/增材制造的传感器的领域中,vcsel的可寻址阵列越来越重要。取决于应用情况,其不能允许即使一个单个像素故障的情况。这样的单个像素故障将导致整个...
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