技术编号:22434281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及半导体技术领域,尤其涉及光探测器及制作方法。背景技术近年来随着量子保密通信、3d激光雷达成像、生物荧光检测等领域科技的迅速发展,对能实现单个光子量级超微弱光探测的光电探测器需求日渐增强。作为量子保密通信系统光子接受端核心器件,探测器的性能直接影响到整个通信系统的性能。为提高量子保密通信系统通信距离和成码率、支撑量子保密通信技术快速走向大规模工程化应用,需要高探测效率的探测器。发明内容一方面,本公开提供一种光探测器。本公开实施例提供的光探测器包括:衬底;在所述衬底的第一表面上具有功能层;...
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