技术编号：22503888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种红外线控制电路，应用在离子注入机。背景技术离子注入机是将某种元素的原子进行电离，并使其在电场中加速，控制其以一定的速度和角度射入固体材料表面的设备。粒子注入时，要求晶圆的缺口方向一致，以保证对固体材料的导电性能改善一致。所以在粒子注入前，需要对晶圆进行精确定位。本发明设计了一种红外线控制电路，为离子注入机晶圆定位提供了稳定可控的红外线光源。发明内容本发明设计了一种红外线控制电路，提供了稳定可控的红外线光源，应用在离子注入机的晶圆定位。本发明的一种红外线控制电路由五大部分组成，包括输...
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