一种硅光电二极管阵列贝塔粒子计数探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:22543266

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本发明涉及粒子探测领域,具体是一种硅光电二极管阵列贝塔粒子计数探测器。背景技术β粒子(英语:betaparticle),又译贝塔粒子或贝他粒子。指的是当放射性物质发生β衰变,所释出的高能量电子或正电子。半导体硅光电二极管阵列作为一种新型光电探测器件发明于20世纪90年代末,已被应用于高能物理及核医学(pet)等领域,被广泛认为是未来极微弱光探测器的发展方向。每个半导体硅光电二极管阵列由大量的(36平方毫米面积内39384个)雪崩光电二极管单元组成;如此超小体积高集成度,使弱光探测器的体积相较使用...
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