技术编号：22586041
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统技术领域，特别是涉及一种基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法。背景技术微机电系统(mems)器件常用的主动调控技术有静电驱动、压电驱动和热驱动等。静电调控技术可实现对mems器件变形的调控，由于静电吸合及动态调节范围限制等使其应用受到制约。压电驱动是应用非常普遍的驱动方式，但较大工作电压成为应用的瓶颈所在。相对而言，热驱动方式具备静态位移大、驱动力强、易于集成等特点。目前，常用方法是通过在四支撑梁上布置微驱动器调控平板结构位移，但这种方式只能实现结构上下平动不具备调控局...
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