一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:22586045

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本发明属于微纳加工制备领域,具体涉及无机/有机纳米材料制备技术,尤其涉及一种基于水冰的电子束诱导刻蚀技术。背景技术具有单层或多层原子厚度的二维(2d)材料因其与结构有关的独特电子和光学特性而受到广泛关注,例如表现出金属性质的石墨烯。2d过渡金属硫属化物(tmdc)是新兴的一类材料,它们具有直接的带隙并提供了有希望的半导体替代品。典型的例子是单层二硫化钼(mos2),它具有1.9ev的大电子带隙,得益于其可控的电导率和强大的光致发光能力,在晶体管,光调制器,能量储存技术,生物传感器和光催化等领域中...
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