技术编号：22630164
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件。本发明还涉及一种电容式传感器设备或开关设备。此外，本发明涉及一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件的制造方法。背景技术在us2014/0060169a1中说明了一种电容式压力传感器，该电容式压力传感器具有直接或间接在衬底的衬底表面上张紧的膜片。所述膜片的无支撑区域覆盖由衬底成型的开口，其中，无支撑区域在其两个膜片表面上存在压力不平衡时翘曲。电容式压力传感器也包括连接在膜片的无支撑区域上的摆杆结构，该摆杆结构具有构造在摆杆结构上的两...
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