一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型及应用的制作方法技术资料下载

技术编号:22806855

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本发明属于x射线探测技术领域,尤其涉及一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型及应用。背景技术目前,三维电极探测器较之传统的二维/平面探测器具有诸多优势,比如其耗尽电压不再受到探测器晶元厚度的影响,可以使探测器厚度增加至几个毫米而不增加探测器的耗尽电压(现有探测器较厚的厚度也仅为几百微米)。探测器的耗尽电压不受其厚度限制,将会给探测器带来很多优势,比如现存超纯高阻硅探测器在50kev能量以上的探测效率可以增加至30%左右,而平面探测器由于其厚度限制,探测效率仅约为15%。随着三维电极探测器的提出...
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