技术编号：22905296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉用分体式坩埚。背景技术坩埚是直拉单晶炉最重要的热场件之一，坩埚的主要作用是保护石英坩埚在高温下不发生较大形变，使软化的石英坩埚在拉晶过程中维持稳定状态，保证单晶正常生长，保证单晶成晶率。当前单晶炉所用的坩埚材质主要为碳碳复合材料，其结构为一体式结构，在碳碳坩埚内部设有用于盛放硅料的石英坩埚。当石英坩埚冷却后，由于热胀冷缩的缘故，石英坩埚与碳碳坩埚的埚体紧密接触，在拆清工序时取出石英坩埚非常困难，需使用特制工具对石英坩埚进行破碎处理，而在破碎过...
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