技术编号:22905311
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型具体涉及一种cz法拉制硅单晶使用的通用夹头装置。背景技术使用cz法拉制单晶硅棒是通过单晶炉加工生产的,其中晶棒是采用石墨夹头夹持籽晶,然后将籽晶插入熔体表面进行熔接,同时转动籽晶,反转坩埚,籽晶缓慢向上提升,促成晶体生长拉制呈晶棒。在此过程中,应特殊工艺要求,在晶棒拉制过程中有加料操作,现阶段石墨夹头按籽晶类型有斜口和锥形两种。斜口籽晶在籽晶(圆柱形)一边倒斜角,通过钼销插入后安装在夹头内,一边倒斜角对人员安装籽晶的要求高,若安装方式及方法不对,会导致籽晶一边倾斜,影响晶向偏离度,从而...
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