技术编号：22963451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微流控器件，更具体地，涉及一种薄膜变形微流控器件。背景技术微阀在微流控应用中有着至关重要，许多具有不同结构和功能的微流控阀被开发应用于芯片上器件，根据微阀的工作原理，微阀可分为主动型和被动型两种。主动阀通常使用外部执行机构，能够精确控制液体，因此在微流体器件的大规模集成中，主动阀具有高度的兼容性，但外部的执行器件同时也增加了阀门控制系统的复杂性，不适合复杂系统的真正微型化。而被动阀在微流控系统中能够有效控制流量，其不需要复杂的执行器，因此被动阀能够用于低成本和便携式微流控应用。被动...
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