技术编号：23014080
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及直写光刻机吸盘技术领域，尤其涉及用于光刻机上的真空检测装置。背景技术真空检测装置在光刻机传片、传版以及各移动平台部分具有重要的作用；对掩膜版进行真空检测时，首先将掩膜版进行限位固定，由于保证对其检测时的稳定性；现有的对掩膜版固定的工具功能比较单一，实用效果差，从而对多种掩膜版进行限位时，需要多种限位装置，增加了检测成本，因此我们设计了用于光刻机上的真空检测装置来解决以上问题。发明内容本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的用于光刻机上的真空检测装置，其可以对不同大小的掩膜版...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。