技术编号:23063468
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于质量流量调控器(“massflowcontroller”-mfc)或质量流量测量仪(“massflowmeter”-mfm)的质量流传感器组件。此外,本发明涉及一种用于制造质量流传感器组件的方法。背景技术从现有技术中已知质量流量调控器或质量流量测量仪,所述质量流量调控器或质量流量测量仪具有质量流传感器,所述质量流传感器构成为毛细管传感器。质量流传感器通常与质量流量调控器或测量仪的旁通管路相关联。除了旁通管路之外,质量流量调控器或测量仪通常包括主管路,所述主管路例如构成为主通道,...
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