技术编号：23066476
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及负压抓取设备领域，具体涉及一种微小产品抓取装置。背景技术微小产品的抓取一直是微电子产业为代表的工业领域的一个重要技术环节。利用负压技术，在产品表面产生低于大气压的局部负压场，就可以在产品上形成升力，从而实现对产品的吸取，以完成后续的转运等操作。微小产品的抓取技术伴随着微电子产业的发展而发展，发展出了多种技术来完成相应的产品的抓取，有代表性的技术为负压抓取、物理夹取、静电吸取、电磁吸取等，其中负压抓取由于适用面宽、可靠性高、对产品的损伤小等优点，得到了大量的应用。针对越来越小的微小产品尺...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。