技术编号：23068138
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光扫描装置。背景技术作为现有技术，已知有通过使镜面绕水平旋转轴和垂直旋转轴摆动来使激光进行二维扫描的光扫描装置。这样的光扫描装置是利用压电元件等执行器来驱动镜面的mems(micro-electro-mechanicalsystems，微机电系统)。从使镜面露出的必要性出发，这样的光扫描装置作为所谓敞开包装(openpackage)在各种环境下使用。因此，优选在用来对执行器供应驱动电压的配线中使用耐热性和耐腐蚀性高的材料。作为这样的配线，例如使用金(au)配线，并金配线上形成有由氧化铝...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。