用于绝缘体上覆硅器件的体连接的制作方法技术资料下载

技术编号:23068312

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背景优先权要求本专利申请要求于2018年4月20日提交的题为“bodyconnectionforasilicon-on-insulatordevice(用于绝缘体上覆硅器件的体连接)”的申请no.15/958,792的优先权,该申请被转让给本申请受让人并由此通过援引明确纳入于此。领域本公开的各方面涉及绝缘体上覆硅器件,尤其涉及用于连接绝缘体上覆硅mosfet的本体的结构和方法。背景技术绝缘体上覆硅(soi)技术是指在半导体制造(尤其是微电子学)中使用分层的硅-绝缘体-硅基板代替常规硅基板以减少寄...
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